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晶圆清洗甩干机静电解决方案

客户痛点：

因晶圆清洗过程中高速旋转，清洗区域静电超标会造成晶圆损坏。

解决方案：

通过离子风咀向清洗区域输送离子风，从而确保该区域静电始终保持在合理范围内，使晶圆无法因静电超标造成损坏。

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